Busch Rangu DF 1000 A, Vákuumszivattyú

A Rangu a Busch mély vákuum-alkalmazásainak új diffúziós vákuumszivattyú-termékcsaládja. A Rangu három mérete ideális megoldást kínál azokhoz az alkalmazásokhoz, amelyekben <10-8 hPa (mbar) mély vákuumra és a lehető legnagyobb szállítási kapacitásra és gázáramra van szükség.

Robusztus és bevált
A Rangu diffúziós vákuumszivattyúk a bevált diffúziós alapelv
szerint működnek, és rendkívüli megbízhatóság jellemzi őket. Még a legnagyobb igénybevételt támasztó üzemi körülmények között is, amelyek más vákuumszivattyúkat tönkretennének, a Rangu diffúziós vákuumszivattyúk megbízhatóan üzemelnek, állandó magas teljesítményt nyújtanak és hosszú az élettartamuk.

Megbízható működés és költséghatékonyság
A Rangu diffúziós vákuumszivattyúk szinte az összes reaktív gáz és pára szivattyúzására alkalmasak. Rendkívül hatékonyan működnek,
és csak nagyon kevés karbantartást igényelnek.

A Rangu diffúziós vákuumszivattyúk 10-3 mbar bemeneti nyomás mellett üzemeltethetők. Az elővákuum létrehozásához egy bevált R 5 forgólapátos vákuumszivattyút vagy egy COBRA szárazonfutó csavar vákuumszivattyút tartalmazó vákuum rendszert javaslunk, és mindegyiknél egy-egy Roots-vákuumszivattyút nyomásfokozóként. A Busch a vákuum rendszerek széles termékskáláját kínálja, amelyek kiemelkedően rugalmas lehetőségeket kínálnak az elővákuum létrehozásához a Rangu diffúziós vákuumszivattyúkhoz.

Alkalmazások
A Rangu diffúziós vákuumszivattyúk ideálisan alkalmasak az összes ipari mély vákuum alkalmazáshoz, mint például:
- Üvegbevonó gépek
- Vákuumkemencék
- Fémbevonatok
- Fizikai gőzfázisú bevonatolás (PVD)
- Felületkezelések
- Vékonyfilm-bevonatok

Műszaki leírás
A Rangu diffúziós vákuumszivattyúk legfontosabb alkatrésze egy henger alakú szivattyúegység, amelynek az alja fűthető. Munkafolyadékként olajat használnak, amelyet felhevítenek.
Ennek az olajnak a párája felszáll a fúvókarendszerbe, ahol áthalad több diffúziós fázison, majd nagy nyomás alatt távozik ebből a rendszerből. A folyamatban részt vevő gáz molekuláit ezek a párák befogják és magukkal sodorják lefelé, az előszivattyú kimenete felé. Az olajpára lecsapódik a vízhűtéses szivattyúegység belső felületén, ahonnan visszavezetik az egység aljára. Az innovatív, többfokozatú fúvóka-elv szerint megépített Rangu diffúziós vákuumszivattyúk rendkívül magas és stabil szállítási kapacitást kínálnak.